指标名称

指标参数

外框

中框

内框

负载重量

15kg

负载尺寸

Φ350×450mm

台面跳动

0.02mm

三轴不相交度

Φ0.5mm

三轴不垂直度

±10″

转角范围

连续旋转

连续旋转

连续旋转

最小角速度

0.005°/s

0.005°/s

0.1°/s

最大角速度

400°/s

400°/s

10800°/s

最大角加速度

3000°/s²

3000°/s²

8000°/s²

位置精度

±0.003°

±0.003°

±0.05°

分辨率

0.001°

0.001°

0.03°

宽带（双十）

12Hz

12Hz

20Hz

速率精度及平稳性

±1×10^-4（≥10°/s，360°平均）

±5×10^-4（1-10°/s，10°平均）

±1×10^-2（＜1°/s，1°平均）

设备自重

3000kg