序号 |
技术指标 |
范围 |
1 |
负载特性要求 |
5kg |
2 |
自由度 |
上下、左右运动的2个自由度 |
3 |
最大线加速度 |
35m/s2 |
4 |
最大线速度 |
2.5m/s |
5 |
频带(双十) |
3.5Hz(幅度为10cm) |
6 |
两轴两两垂直度 |
优于±5ˊ |
7 |
静态定位精度 |
优于0.1mm |
8 |
两轴行程范围 |
上下±0.85m,左右±1.25m |