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序号 |
指标名称 |
技术指标 |
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1 |
使用方式及 结构形式 |
在真空外大气环境下竖直放置使用，六支腿结构形式 |
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2 |
负载重量 |
13kg |
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3 |
外形尺寸 |
上台面直径120mm，下台面直径200mm，高度190mm |
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4 |
角度分辨率 |
＜5″ |
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5 |
角度有效调整范围 |
±2° |
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6 |
水平、升降 复合调整范围 |
±2mm |
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7 |
位移分辨率 |
＜5um |
